氣浮導軌（Air Bearing Guide），也被稱為空氣軸承導軌，是一種利用壓縮空氣在導軌與移動部件之間形成一層薄空氣膜，從而實現無接觸支撐和導向的技術。這種技術能夠顯著減少運動部件之間的摩擦力，提供很高的定位精度和平滑的運動特性，廣泛應用于高精度機床、光學設備、半導體制造設備等領域。
工作原理
氣浮導軌通過向導軌表面或滑塊內的小孔、槽注入經過過濾的壓縮空氣，在導軌與移動部件之間形成一層穩定的空氣膜。這層空氣膜起到了緩沖作用，使移動部件懸浮于導軌之上，幾乎消除了兩者之間的直接接觸，因此極大地降低了摩擦系數和磨損率，同時也減少了由于摩擦產生的熱量和振動。
主要特點
高精度：由于幾乎沒有機械接觸，氣浮導軌可以達到亞微米級別的定位精度。
低摩擦：依靠空氣膜進行支撐，摩擦力極低，有利于實現精密控制和高效能操作。
長壽命：缺乏物理接觸意味著幾乎沒有磨損，從而延長了系統的使用壽命。
平穩性好：減少了傳統導軌系統中可能出現的爬行現象，提供了更加平滑的運動性能。
自清潔功能：流動的空氣有助于清除微小顆粒，保持工作環境的清潔度。
應用領域
精密加工：如超精密車床、磨床等，用于提高工件加工的尺寸精度和表面質量。
光學檢測：適用于需要高穩定性平臺的光學測量儀器，比如三坐標測量機（CMM）。
半導體制造：在晶圓制造過程中，對于需要很高精度的操作，如光刻機中的晶圓定位系統。
科研實驗：支持各種要求苛刻的科學實驗，特別是在物理學、天文學等領域中對穩定性和精確度有嚴格要求的場合。
使用氣浮導軌時，需注意供氣系統的清潔度和穩定性，確保進入導軌的壓縮空氣質量良好，并且壓力恒定，以保證最佳的工作狀態。此外，雖然氣浮導軌具有許多優點，但其成本相對較高，維護也需要一定的專業知識。
