氣浮導軌按工作原理分為兩種基本類型:空氣動壓導軌和空氣靜壓導軌。動壓型如圖1左圖所示,兩個面相對移動且間隙呈楔形,沿移動方向間隙逐漸變小。由于相對移動,氣體因其黏性作用,被拖帶壓入楔形間隙中,從而產生壓力,構成動壓懸浮。靜壓型如圖1右圖所示,是將外部的壓縮氣體,通過節流孔導入間隙中,借助其靜壓使之懸浮起來,節流孔的作用是當間隙變化時,調整間隙內的壓力,從而使導軌具有剛度。氣浮導軌是由導軌和溜板組成的滑動副,導軌和溜板之間為氣膜潤滑。
氣浮導軌的特點:
1、氣浮導軌基于氣體動靜壓效應,實現無摩擦和無振動的平滑移動。
2、它具有運動精度高、清潔無污染等特點。
3、因其誤差均化作用,可用比較低的制造精度來獲得較高的導向精度。
4、通常與伺服驅動,傳感器組成閉環系統,實現高精度位移定位。
5、氣浮導軌在測量儀器、精密機械中得到了廣泛的應用。
氣浮導軌組成部分:
(1)導軌座和溜板;
(2)節流器,如小孔節流器、毛細管節流器、、薄膜反饋節流器等;
(3)供氣系統及調節裝置。